TY  - SER
AU  - Борисов,Дмитрий Петрович
AU  - Кузнецов,Владимир Михайлович
AU  - Романов,Василий Яковлевич
AU  - Терехов,Павел Алексеевич
AU  - Шулепов,Иван Анисимович
AU  - Коротаев,Александр Дмитриевич
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
TI  - Технологические способы эффективной вакуумно-плазменной обработки изделий в вакуумных камерах большого объема
KW  - плазма газоразрядная
KW  - плазмогенераторы
KW  - технологические процессы
KW  - азотирование плазменное
KW  - легирование
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 6 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000492788
ER  -