TY  - BOOK
AU  - Гриценко,Владимир Алексеевич
AU  - Елисеев,Александр Павлович
AU  - Иванов,М.В.
AU  - Асеев,Александр Леонидович
TI  - Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
T2  - Интеграционные проекты СО РАН
SN  - 9785769211836
PY  - 2011///
CY  - Новосибирск
PB  - Изд-во Сибирского отделения Российской академии наук
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - nlr_sh
KW  - диэлектрики с высокой диэлектрической проницаемостью
KW  - полупроводниковые приборы кремниевые
KW  - прекурсоры
KW  - электронные структуры
KW  - атомные структуры
KW  - вакансии кислорода
KW  - люминесценция диэлектриков
KW  - фотолюминесценция диэлектриков
KW  - диэлектрические пленки
KW  - high-k-диэлектрики
KW  - диоксид гафния
KW  - оксид кремния
KW  - оксинитрид кремния
KW  - нестехиометрические соединения
KW  - перенос зарядов
KW  - проводимость диэлектриков двузонная
KW  - инжекция электронов
KW  - проводимость полупроводников
KW  - диэлектрическая проницаемость, оптимизация
N1  - Авт. указаны на обороте тит. л; Библиогр. в конце гл
ER  -