TY  - BOOK
AU  - Берлин,Евгений Владимирович
AU  - Сейдман,Лев Александрович
TI  - Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
T2  - Мир материалов и технологий
SN  - 9785948363691
PY  - 2014///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
KW  - Магнетроны
KW  - Применение для напыления тонких пленок
KW  - nlr_sh1
KW  - тонкие пленки металлические
KW  - ионное распыление
KW  - плазмохимические технологии
KW  - плазмохимическое напыление
KW  - реактивное распыление
KW  - хемосорбция
KW  - ионная имплантация (физика поверхности)
KW  - атомы газа реактивного
KW  - реактивные разряды
KW  - нитриды металлов, образование
KW  - окислы металлов, образование
KW  - состав тонких пленок
KW  - структура тонких пленок
KW  - магнетронное распыление реактивное
KW  - нанесение тонких пленок
KW  - HiPIMS-процесс
KW  - тонкие пленки полупроводников
KW  - технология получения тонких пленок
KW  - справочники
N1  - Библиогр.: с. 242-255
ER  -