Берлин Е. В. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - Москва : Техносфера, 2014. - 255 с., [2] л. цв. ил.: ил., табл. - ( Мир материалов и технологий )