Вакуумная ионно-плазменная обработка : [учебное пособие для вузов по направлению подготовки магистров 150100 "Материаловедение и технологии материалов" / А. А. Ильин, В. В. Плихунов, Л. М. Петров, В. С. Спектор]. - Москва : Альфа-М [и др.], 2014. - 157 с.: рис., табл. - ( Современные технологии. Магистратура ) - ( Электронно-библиотечная система "Znanium.com" )