TY  - GEN
AU  - Смирнов,А.П.
AU  - Ситников,Алексей Геннадьевич
AU  - Новосельцева,Евгения Александровна
TI  - Патентно-информационные исследования применимости некогерентных источников удьтрафиолетового излучения в полупроводниковой промышленности
KW  - инновационные технологии
KW  - инновационные проекты
KW  - ультрафиолетовое излучение
KW  - полупроводниковая промышленность
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - патентно-информационные исследования
KW  - эксилампы
N1  - Библиогр.: 6 назв
ER  -