TY  - BOOK
AU  - Гаврилов,Сергей Александрович
AU  - Белов,Алексей Николаевич
TI  - Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие : [для вузов по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" и по специальностям 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210100 (550700) "Электроника и микроэлектроника" (бакалавр)]
T2  - Высшее образование. Бакалавриат
SN  - 9785369012994
PY  - 2014///
CY  - Москва
PB  - РИОР [и др.]
KW  - электрохимия
KW  - RuMoRKP
KW  - нанотехнология
KW  - электродные процессы
KW  - электроды полупроводниковые
KW  - полупроводник-электролит
KW  - химическая кинетика
KW  - электрохимическое разложение полупроводников
KW  - анодное растворение полупроводников
KW  - электроды кремниевые
KW  - массоперенос
KW  - микроструктуры кремниевые
KW  - наноструктуры кремниевые
KW  - оксидные пленки анодные
KW  - наноструктуры твердотельные
KW  - ионная имплантация
KW  - оксид алюминия анодный пористый
KW  - катодное осаждение
KW  - LIGA-технологии
KW  - наноразмерные кластеры металлов
KW  - поверхности полупроводников
KW  - нанокристаллы нитевидные
KW  - осаждение матричное нанокристаллов нитевидных
KW  - диаграммы электрохимического равновесия
KW  - нанокластеры металлов
KW  - осаждение наноструктур на поверхность полупроводников
KW  - нанотехнологии электрохимические
N1  - Библиогр.: с. 235-236
ER  -