Гаврилов С. А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие : [для вузов по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" и по специальностям 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210100 (550700) "Электроника и микроэлектроника" (бакалавр)] / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов. - 2-е изд.. - Москва : РИОР [и др.], 2014. - 238, [1] с.: ил. - ( Высшее образование. Бакалавриат ) - ( Электронно-библиотечная система "Znanium.com" )