TY - BOOK AU - Григорьев,Сергей Николаевич AU - Грибков,Андрей Армович AU - Алешин,Сергей Викторович TI - Технологии нанообработки: [учебное пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению подготовки "Конструкторско-технологическое обеспечение машиностроительных производств"] SN - 9785941781942 PY - 2012/// CY - Старый Оскол PB - ТНТ KW - учебные издания для вузов KW - нанообработка KW - наноизмерения KW - наноструктуры KW - нанометрология KW - фуллерены KW - наночастицы KW - нанотрубки KW - нанопорошки KW - устройства нанопозиционирования KW - устройства наноперемещений KW - нанолитография KW - наномашины молекулярные KW - супрамолекулярные структуры KW - наноматериалы объемные KW - нанопокрытия KW - нанотехнологии поверхностной модификации KW - квантово-размерные полупроводниковые структуры KW - наноструктурирование поверхности KW - наномашины атомные KW - суперпрецизионная размерная обработка KW - нанотехнологии N1 - Библиогр.: с. 311-319 ER -