TY - SER AU - Будницкий,Давыд Львович AU - Калыгина,Вера Михайловна AU - Кожинова,Нина Ивановна AU - Прудаев,Илья Анатольевич AU - Егорова,Ирина Максимовна AU - Яскевич,Тамара Михайловна ED - Томский государственный университет ED - Томский государственный университет ED - Томский государственный университет TI - Влияние температуры отжига на спектры пропускания пленок GaxOy, полученных методом термического испарения KW - тонкие пленки KW - оксид галлия KW - термический отжиг KW - оптические свойства KW - ультрафиолетовый диапазон KW - коэффициенты пропускания KW - статьи в журналах N1 - Библиогр.: 6 назв UR - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000468361 ER -