TY  - SER
AU  - Зарубин,Андрей Николаевич
AU  - Калыгина,Вера Михайловна
AU  - Новиков,Вадим Александрович
AU  - Петрова,Юлианна Сергеевна
AU  - Прудаев,Илья Анатольевич
AU  - Толбанов,Олег Петрович
AU  - Черников,Евгений Викторович
AU  - Яскевич,Тамара Михайловна
AU  - Цупий,Светлана Юрьевна
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
TI  - Исследование электрических характеристик структур TiO2-Si
KW  - оксиды титана
KW  - кремний
KW  - кислородная плазма
KW  - термический отжиг
KW  - вольт-фарадные характеристики
KW  - вольт-сименсные характеристики
KW  - диэлектрическая проницаемость
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 4 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000468359
ER  -