TY - SER AU - Чухломина,Людмила Николаевна AU - Горленко,М.Н. AU - Водянкина,Ольга Владимировна AU - Курзина,Ирина Александровна ED - Томский государственный университет ED - Томский государственный университет TI - Нанесенные серебросодержащие системы на основе нитрида кремния KW - нитрид кремния KW - структурные особенности KW - фазовый состав KW - серебро KW - серебросодержащие системы KW - статьи в журналах N1 - Библиогр.: 16 назв UR - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000465466 ER -