TY  - SER
AU  - Вишникина,Вера Валерьевна
AU  - Зарубин,Андрей Николаевич
AU  - Новиков,Владимир Александрович
AU  - Петрова,Юлианна Сергеевна
AU  - Толбанов,Олег Петрович
AU  - Тяжев,Антон Владимирович
AU  - Цупий,Светлана Юрьевна
AU  - Яскевич,Тамара Михайловна
AU  - Калыгина,Вера Михайловна
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
TI  - Влияние отжига в аргоне на свойства пленок оксида галлия, полученных термическим напылением
KW  - оксид галлия
KW  - оксидные пленки
KW  - термическое напыление
KW  - отжиг
KW  - электрические характеристики
KW  - оптические характеристики
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 9 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000465415
ER  -