Влияние отжига в аргоне на свойства пленок оксида галлия, полученных термическим напылением / В. М. Калыгина, В. В. Вишникина, А. Н. Зарубин и др. // Физика и техника полупроводников. 2013. Т. 47, № 8. С. 1137-1143. URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000465415