TY  - BOOK
AU  - Махвиладзе,Тариэль Михайлович
TI  - Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование
T2  - Труды ФТИАН
SN  - 9785020390683
SN  - 0868-7129
PY  - 2014///
CY  - Москва
PB  - Наука
KW  - Квантовые компьютеры
KW  - Сборники
KW  - nlr_sh
KW  - Микроэлектроника
KW  - наноприборы квантовые
KW  - наноэлектроника
KW  - технологические процессы микроэлектроники
KW  - технологические процессы наноэлектроники
KW  - моделирование многокубитовых квантовых систем
KW  - квантовые системы многокубитовые
KW  - чип квантовый с сетевым управлением оптическим
KW  - наноэлектронные структуры
KW  - физика поверхности
KW  - кантилеверы металлические наноразмерные
KW  - транзисторы туннельные многозатворные
KW  - МДП-структуры
KW  - наноразмерные кластеры кремния
KW  - диэлектрические слои
KW  - квантовые модели структур низкой размерности
KW  - квантовые модели спиновых структур
KW  - квантовая обработка информации
KW  - микроэлектронные структуры
KW  - кислородная преципитация в кремнии
KW  - микрокластеры пористые кристаллов
KW  - микрорельеф поверхности
KW  - электронно-лучевое травление
KW  - свойства интерфейсов наноэлектроники
KW  - электромиграционная устойчивость  элементов металлизации
KW  - мессбауэровская наноспектроскопия
KW  - ячейки памяти (электроника)
KW  - полупроводниковые гетероструктуры
KW  - электроника нанотранзисторная
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -