TY  - BOOK
AU  - Барыбин,Анатолий Андреевич
AU  - Томилин,Виктор Иванович
AU  - Шаповалов,Виктор Иванович
TI  - Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники: [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника", 211000 "Конструирование и технология электронных средств", 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника"]
SN  - 9785922113212
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - Физматлит
KW  - Электроника
KW  - Физические основы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh
KW  - электронные технологии
KW  - фазовые превращения веществ
KW  - химические превращения веществ
KW  - управление диффузионными процессами
KW  - управление кинетическими процессами
KW  - равновесные процессы
KW  - неравновесные процессы
KW  - энтропия
KW  - законы сохранения энергии
KW  - второе начало термодинамики
KW  - Пригожина теорема о минимуме производства энтропии
KW  - фазовое равновесие
KW  - химическое равновесие
KW  - равновесие структурное
KW  - дефектообразование в кристаллах
KW  - кристаллические решетки полупроводников
KW  - электронно-дырочное равновесие полупроводников
KW  - диффузия атомов в полупроводниках
KW  - легирование полупроводников диффузионное
KW  - химическое травление полупроводников
KW  - термическое окисление полупроводников
KW  - полупроводники монокристаллические
KW  - эпитаксиальные методы
KW  - химический транспорт веществ
KW  - поверхности полупроводников
KW  - межфазные взаимодействия полупроводников
KW  - нанокластеры
KW  - наноструктурированные материалы
KW  - золь-гель технологии
KW  - зародышеобразование тонких пленок
KW  - арсенид галлия
N1  - Библиогр.: с. 771-772; Предм. указ.: с. 773-782
ER  -