TY  - SER
AU  - Ющенко,Алексей Юрьевич
AU  - Божков,Владимир Григорьевич
AU  - Иващенко,Анна Ивановна
AU  - Айзенштат,Геннадий Исаакович
ED  - Томский государственный университет
TI  - PHEMT-технология создания монолитных интегральных схем КВЧ-диапазона с проектной нормой от 100 нм
KW  - интегральные схемы монолитные
KW  - PHEMT-гетероструктуры
KW  - затворы
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 6 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000448616
ER  -