TY - GEN AU - Рудов,Федор Валентинович TI - Электрические и газочувствительные характеристики сенсоров NO2 на основе тонких пленок WO3, легированных примесью золота KW - труды ученых ТГУ KW - сенсоры KW - полупроводниковые сенсоры KW - диоксид азота KW - тонкие пленки KW - электрические характеристики KW - газочувствительные характеристики KW - реактивное магнетронное распыление KW - золото ER -