TY  - GEN
AU  - Юркин,Д.М.
TI  - Зависимость характеристик сенсоров NO2 на основе тонких пленок WO3 от их микроструктуры
KW  - токсичные газы
KW  - загрязняющие газы
KW  - оксид азота
KW  - сенсоры
KW  - резистивные сенсоры
KW  - отжиг
KW  - электрические характеристики
KW  - газочувствительные характеристики
KW  - пленки
KW  - тонкие пленки
KW  - термообработка
ER  -