TY  - SER
AU  - Sochugov,Nikolay S.
AU  - Zakharov,Alexander N.
AU  - Oskirko,V.O.
AU  - Semenov,Vladimir A.
AU  - Semenyuk,N.S.
AU  - Kozyrev,Andrey V.
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
TI  - Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge
KW  - физика плазмы
KW  - магнетронные распылительные системы
KW  - магнетронные разряды
KW  - плазменно-иммерсионная обработка
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 5 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000436741
ER  -