Парфенова Е. Л. Физические основы микро- и наноэлектроники : учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 200101 "Приборостроение"] / Е. Л. Парфенова, Л. А. Терентьева, М. Г. Хусаинов ; [отв. ред. В. Разномазов]. - Ростов-на-Дону : Феникс, 2012. - 234, [1] с.: ил. - ( Высшее образование )