TY - GEN AU - Воронянский,В.М. AU - Сердюк,Д.С. TI - Газочувствительные свойства тонких пленок Pt/SnO2:Sb при воздействии CO и C2H2 в режиме импульсного нагрева KW - физика полупроводников KW - физика диэлектриков KW - тонкие пленки KW - газочувствительные свойства KW - тонкопленочные сенсоры KW - импульсный нагрев N1 - Библиогр.: 4 назв ER -