TY  - SER
AU  - Грекова,Т.С.
AU  - Геринг,Г.И.
AU  - Курзина,Ирина Александровна
AU  - Шаркеев,Юрий Петрович
AU  - Вершинин,Г.А.
ED  - Томский государственный университет
TI  - Анализ формирования концентрационных полей в титане при имплантации ионов алюминия через осаждаемую на поверхность мишени газо-металлическую пленку
KW  - концентрационные поля
KW  - газо-металлические пленки
KW  - структурно-фазовые превращения
KW  - имплантация ионов
KW  - алюминий
KW  - титан
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 9 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000431809
ER  -