TY  - GEN
AU  - Оскомов,Константин Владимирович
TI  - Свойства нанокристаллических и нанослойных твердых углеродных покрытий, полученных магнетронным распылением
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - импульсное магнетронное распыление
KW  - физика высокоэнергетических систем
KW  - пленки
KW  - химия высокоэнергетических систем
KW  - газофазное осаждение
KW  - углеродные покрытия
KW  - экспериментальные исследования
KW  - магнетроны
KW  - нанокристаллические покрытия
KW  - нанослойные покрытия
N1  - Библиогр.: 11 назв
ER  -