TY  - GEN
AU  - Демкин,Владимир Петрович
AU  - Семухин,Борис Семенович
AU  - Мельничук,Сергей Васильевич
TI  - Наноструктурирование приповерхностных слоев полупроводниковых материалов
KW  - наноструктурирование
KW  - полупроводниковые материалы
ER  -