TY  - GEN
AU  - Кострюков,Виктор Федорович
AU  - Миттова,Ирина Яковлевна
TI  - Синтез тонких оксидных слоев на поверхности GaAs термооксидированием в присутствии композиций Sb2O3+V2O5
KW  - термическое окисление
KW  - арсенид галлия
N1  - Библиогр.: 3 назв
ER  -