TY  - BOOK
AU  - Гаврилов,Сергей Александрович
AU  - Белов,Алексей Николаевич
AU  - Железнякова,Анастасия Вячеславовна
TI  - Конспект лекций по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем": [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
T2  - Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
SN  - 9785725606522
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - нанотехнологии
KW  - наноструктуры
KW  - наноэлектроника
KW  - наноструктуры пористые
KW  - анодное окисление материалов
KW  - анодное растворение материалов
KW  - катодное осаждение материалов
KW  - нанополупроводники
KW  - поверхности нанополупроводников
KW  - нанотехнологии низкотемпературные
KW  - нанокристаллы нитевидные
KW  - наноструктуры кремниевые
KW  - электрохимические процессы
KW  - электроды полупроводниковые
KW  - нанотехнологии электрохимические
KW  - материалы нанотехнологии
N1  - Библиогр.: с. 169 - 170
ER  -