Гаврилов С. А. Конспект лекций по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем" : [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, А. В. Железнякова ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - Москва : МИЭТ, 2011. - 172 с.: ил. - ( Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" )