TY  - BOOK
AU  - Голишников,Александр Анатольевич
AU  - Путря,Михаил Георгиевич
TI  - Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике": [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
T2  - Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - лабораторные работы
KW  - интегральные схемы
KW  - наноэлектроника
KW  - диэлектрические пленки
KW  - тонкие пленки
KW  - магнетронное распыление
KW  - плазменное травление
N1  - Библиогр. в конце работ
ER  -