Голишников А. А. Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" : [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] / А. А. Голишников, М. Г. Путря ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - Москва : МИЭТ, 2011. - 100 с.: ил. - ( Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" )