TY  - BOOK
AU  - Марголин,Владимир Игоревич
AU  - Жабрев,Валентин Александрович
AU  - Тупик,Виктор Анатольевич
TI  - Физические основы микроэлектроники: [учебник для студентов вузов, обучающихся по специальности "Проектирование и технология радиоэлектронных средств" направления "Проекторование и технология электронных средств"]
T2  - Высшее профессиональное образование
SN  - 9785769542275
PY  - 2008///
CY  - Москва
PB  - Академия
KW  - микротехнологии
KW  - нанотехнологии
KW  - квантовая механика
KW  - твердые тела, электронные состояния
KW  - кристаллическое состояние вещества
KW  - аморфное состояние вещества
KW  - кристаллические решетки, энергия связи
KW  - молекулярные связи
KW  - ионные связи
KW  - ковалентные связи
KW  - металлические связи
KW  - квазичастицы
KW  - фуллерены
KW  - фуллериты
KW  - фуллериды
KW  - фрактальная геометрия
KW  - фрактальная физика
KW  - нелинейная динамика
KW  - полупроводниковая микроэлектроника, элементная база
KW  - тонкие пленки, физические основы получения
KW  - литография, физические основы
KW  - поверхностные структуры, физические основы модификации
KW  - нанотехнологии, неразрушающие методы контроля
KW  - нанотехнологии, метрологическое обеспечение
KW  - ионная имплантация (физика поверхности)
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - наноэлектроника
KW  - наноэлектронные материалы
KW  - наноструктуры
KW  - полупроводниковая техника, элементная база
N1  - Библиогр.: с. 396
ER  -