TY  - SER
AU  - Вишникина,Вера Валерьевна
AU  - Зарубин,Андрей Николаевич
AU  - Петрова,Юлианна Сергеевна
AU  - Скакунов,Максим Сергеевич
AU  - Толбанов,Олег Петрович
AU  - Тяжев,Антон Владимирович
AU  - Яскевич,Тамара Михайловна
AU  - Калыгина,Вера Михайловна
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
TI  - Влияние анодного окисла на концентрацию электронов в n-GaAs
KW  - полупроводники
KW  - арсенид галлия
KW  - анодное окисление
KW  - оксидные пленки
KW  - термический отжиг
KW  - кислородная плазма
KW  - дефекты точечные
KW  - атомные вакансии
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 14 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000470563
ER  -