Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т.. Т. 1 / [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко ]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 392 с.: рис., табл. - ( Нанотехнологии )