TY  - BOOK
AU  - Пороховниченко,Лидия Петровна
AU  - Лаврентьева,Людмила Германовна
ED  - Томский государственный университет.
ED  - Сибирский физико-технический институт им. В. Д. Кузнецова (Томск)
TI  - Исследование кинетики роста и легирования эпитаксиального арсенида галлия в газотранспортной системе: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07
PY  - 1978///
CY  - Томск
PB  - [б. и.]
KW  - физика твердого тела
KW  - nsnr
KW  - диссертации
KW  - арсенид галлия эпитаксиальный
KW  - рост кристаллов из газовой фазы, кинетика
KW  - арсенид галлия эпитаксиальный, легирование
KW  - эпитаксиальные слои арсенида галлия, микрорельеф
KW  - пленки тонкие, кристаллизация
N1  - Библиогр.: л. 275-298
ER  -