TY  - SER
AU  - Лаврентьева,Людмила Германовна
AU  - Вилисова,Мария Дмитриевна
AU  - Ивонин,Иван Варфоломеевич
ED  - Томский государственный университет
TI  - Газофазовая эпитаксия арсенида галлия
KW  - физика полупроводников
KW  - эпитаксия полупроводников
KW  - полупроводники
KW  - арсенид галлия
KW  - научные исследования
KW  - электроника
KW  - кинетика роста
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - газовая эпитаксия
KW  - кристаллизация
KW  - химические реакции
KW  - легирование слоев
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 62 назв; Получено из издательства
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000381114
ER  -