TY  - BOOK
AU  - Томилин,Виктор Иванович
TI  - Физико-химические основы технологии электронных средств: учебник для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальностям "Проектирование и технология радиоэлектронных средств", "Проектирование и технология электронно-вычислительных средств" направления "Проектирование и технология электронных средств
T2  - Высшее профессиональное образование
SN  - 9785769547126
PY  - 2010///
CY  - Москва
PB  - Академия
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - полупроводниковые материалы, технология
KW  - полупроводниковые материалы, термодинамическое описание свойств
KW  - полупроводниковые материалы, кристаллические структуры
KW  - химические равновесия
KW  - химические превращения
KW  - кристаллография геометрическая
KW  - термодинамика растворов
KW  - фазовые равновесия
KW  - термодинамика необратимых процессов
KW  - химическая кинетика
KW  - диффузионная кинетика (физическая химия)
KW  - полупроводниковые материалы, адсорбция
KW  - межфазные взаимодействия
KW  - полупроводниковые структуры, зародышеобразование
KW  - полупроводниковые структуры, эпитаксиальное выращивание
KW  - рост кристаллов полупроводников
KW  - полупроводниковые материалы, химическое осаждение
KW  - технология полупроводниковых материалов, анализ термодинамический
N1  - Библиогр.: с. 404-405
ER  -