Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т.. Т. 2 / [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 252 с.: рис., табл. - ( Нанотехнологии )