TY - BOOK AU - Филимонов,Сергей Николаевич ED - Томский государственный университет. ED - Сибирский физико-технический институт им. В. Д. Кузнецова (Томск) TI - Компьютерное моделирование эволюции поверхности и захвата примеси при кристаллизации из молекулярного пучка: Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10 PY - 2000/// CY - Томск KW - диссертации KW - физика полупроводников KW - кристаллизация KW - рост послойный полупроводников KW - газовые фазы KW - атомы KW - поверхностная диффузия полупроводников KW - компьютерное моделирование роста кристаллов KW - Монте-Карло метод KW - рост кристаллов полупроводников KW - случайные процессы KW - имитационное моделирование KW - структура полупроводников KW - микрорельеф поверхности полупроводников KW - примеси в полупроводниках KW - молекулярные пучки KW - температура кристаллизации полупроводников KW - полупроводники N1 - Библиогр.: с. 108-119 ER -