TY  - BOOK
AU  - Рощин,Владимир Михайлович
AU  - Силибин,Максим Викторович
TI  - Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: учебное пособие : [для вузов по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
SN  - 9785947749106
PY  - 2010///
CY  - Москва
PB  - БИНОМ. Лаборатория знаний
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - материалы микроэлектроники
KW  - материалы оптоэлектроники
KW  - материалы наноэлектроники
KW  - некристаллические материалы, технология
KW  - металлоорганические соединения, технология
KW  - углеродные материалы, технология
KW  - диэлектрические материалы, технология
KW  - легирующие элементы, технология
KW  - металлы, технология
KW  - чистые вещества микроэлектроники
N1  - Библиогр.: с. 180
ER  -