Рощин В. М. Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учебное пособие : [для вузов по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]. Ч. 2 / В. М. Рощин, М. В. Силибин. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 179, [1] с.: ил.