TY  - BOOK
AU  - Раскин,Александр Александрович
AU  - Прокофьева,Виолетта Константиновна
TI  - Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: учебное пособие : [для вузов по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
SN  - 9785947749090
PY  - 2010///
CY  - Москва
PB  - БИНОМ. Лаборатория знаний
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - материалы микроэлектроники
KW  - материалы наноэлектроники
KW  - монокристаллы, получение
KW  - технология полупроводников
KW  - полупроводниковые соединения
KW  - эпитаксиальные структуры
KW  - полупроводники элементарные
KW  - германий (полупроводниковые материалы)
KW  - кремний (полупроводниковые материалы)
KW  - рафинирование полупроводниковых материалов
KW  - номенклатура полупроводниковых материалов
KW  - чистые вещества микроэлектроники
KW  - физико-химические процессы
KW  - материалы оптоэлектроники
N1  - Библиогр.: с. 164
ER  -