TY  - BOOK
AU  - Торопов,Сергей Евгеньевич
AU  - Лаврентьева,Людмила Германовна
ED  - Сибирский физико-технический институт им. В. Д. Кузнецова (Томск)
TI  - Кинетика и механизм захвата примеси при газофазовой эпитаксии арсенида галлия: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10
PY  - 1988///
CY  - Томск
PB  - [б. и.]
KW  - Физика полупроводников и диэлектриков
KW  - nsnr
KW  - диссертации
KW  - арсенид галлия, примеси
KW  - эпитаксиальные слои, выращивание
KW  - рост кристаллов из газовой фазы
KW  - эпитаксиальные слои, легирование
KW  - полупроводниковые материалы
N1  - Библиогр.: л. 166 - 186; Доступ в сети ТГУ
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000387629
ER  -