TY  - BOOK
AU  - Эрвье,Юрий Юрьевич
AU  - Лаврентьева,Людмила Германовна
AU  - Рузайкин,Михаил Петрович
ED  - Сибирский физико-технический институт им. В. Д. Кузнецова (Томск)
TI  - Теоретическое исследование кинетики послойного роста кристаллов полупроводников из многокомпонентной газовой фазы: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07
PY  - 1989///
CY  - Томск
PB  - [б. и.]
KW  - физика твердого тела
KW  - nsnr
KW  - диссертации
KW  - рост кристаллов полупроводников послойный
KW  - рост кристаллов полупроводников в газовой фазе
KW  - кристаллы многокомпонентные
KW  - Косселя кристалл с примесью
KW  - кристаллы однокомпонентные
KW  - стехиометрия кристаллов
KW  - кремний, рост кристаллов
KW  - арсенид галлия, рост кристаллов
KW  - кристаллизация, кинетические коэффициенты
KW  - кристаллы бинарные, кинетика захвата примеси
KW  - примеси в кристаллах бинарных
KW  - дефекты кристаллов
KW  - скорость роста кристаллов бинарных
KW  - легирование кристаллов полупроводников
KW  - химическая кинетика, формализм
KW  - модель марковского процесса необратимого встраивания частиц в излом (рост кристаллов)
N1  - Библиогр.: л. 149 - 160
ER  -