TY  - DATA
ED  - Российская академия наук.
ED  - Всероссийский институт научной и технической информации.
TI  - Реферативный журнал. 23А. Электровакуумные и газоразрядные устройства. Раздел 23АБ. Электровакуумные и твердотельные приборы. 23Б. Полупроводниковые приборы: сводный том
T2  - Полупроводниковые приборы / ВИНИТИ. Серия 23. Раздел Б
PY  - 2008///-2009
CY  - Москва
PB  - ВИНИТИ
KW  - наноэлектроника
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - диоды полупроводниковые
KW  - транзисторы
KW  - тиристоры
KW  - диэлектрические покрытия
KW  - металлические покрытия
KW  - литография, технология
KW  - оптоэлектронные полупроводниковые приборы
KW  - интегральные микросхемы
KW  - полупроводниковые приборы, проектирование
KW  - микроэлектронные приборы
KW  - полупроводниковые приборы, технология
KW  - подложки
KW  - полупроводниковые структуры объемные
KW  - полупроводниковые приборы дискретные
KW  - контроль качества полупроводниковых приборов
KW  - испытания полупроводниковых приборов
KW  - реферативные журналы
N1  - В надзаг.: 2008- Российская акад. наук. Всероссийский ин-т науч. и технической информ. (ВИНИТИ); Имеются указатели; Текст на рус., англ., нем., фр., пол., серб. и других языках
ER  -