TY  - BOOK
AU  - Кузнецов,Федор Андреевич
AU  - Александров,Леонид Наумович
ED  - Всесоюзный симпозиум по процессам роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок
TI  - Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок: [сборник докладов : в 2 ч.]
PY  - 1975///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука, Сибирское отделение
KW  - рост кристаллов полупроводников
KW  - рост пленок полупроводниковых
KW  - рост кристаллов из газовой фазы
KW  - эпитаксиальный рост кристаллов
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - кристаллизация полупроводников
KW  - термодинамика роста кристаллов
KW  - кинетика роста кристаллов
KW  - гетероэпитаксиальный рост кристаллов
KW  - газовое травление кристаллов
KW  - эпитаксиальные пленки
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -