TY  - BOOK
AU  - Фалькевич,Эдуард Семенович
AU  - Пульнер,Эрунст Оскарович
AU  - Червоный,Иван Федорович
TI  - Технология полупроводникового кремния
SN  - 5229007400
PY  - 1992///
CY  - Москва
PB  - Металлургия
KW  - Кремний - Получение
KW  - RU-RKP
KW  - кремний полупроводниковый
KW  - кремний чистый
KW  - кремний технический
KW  - силаны
KW  - очистка кремнийсодержащих соединений
KW  - ректификация
KW  - кремниевые стержни поликристаллические
KW  - получение кремниевых стержней
KW  - термическое разложение силанов
KW  - водородное восстановление хлорсиланов
KW  - выращивание монокристаллов
KW  - зонная плавка бестигельная
KW  - технологическое оборудование
KW  - вакуумное оборудование
KW  - криогенное оборудование
KW  - кремниевое производство
KW  - техника безопасности
N1  - Авт. указаны на обороте тит. л; Библиогр.: с. 399-407 (298 назв.)
ER  -