TY  - BOOK
AU  - Анохин,Валентин Захарович
AU  - Гончаров,Евгений Григорьевич
AU  - Кострюкова,Евгения Петровна
AU  - Угай,Яков Александрович
TI  - Практикум по химии и технологии полупроводников: [учебное пособие для химических специальностей вузов
PY  - 1978///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - практикумы
KW  - химия полупроводников
KW  - технология полупроводников
KW  - микроструктура полупроводников
KW  - микротвердость полупроводников
KW  - синтез полупроводников
KW  - очистка полупроводников
KW  - выращивание монокристаллов
KW  - полупроводниковые соединения
KW  - зонная плавка
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - термический анализ дифференциальный
KW  - диаграммы состояния
KW  - кристаллизация направленная
KW  - травление полупроводников
KW  - окисление кремния (полупроводниковые материалы)
KW  - эпитаксиальное наращивание
KW  - диффузия примесей в кремнии
N1  - Авт. указ. на обороте тит. л; Библиогр. в конце ст
ER  -