TY  - SER
AU  - Криворотов,Николай Павлович
AU  - Изаак,Татьяна Ивановна
AU  - Ромась,Лариса Михайловна
AU  - Щеголь,Сергей Степанович
AU  - Свинолупов,Юрий Григорьевич
ED  - Томский государственный университет
TI  - Микроэлектронные сенсоры давления
KW  - электроника
KW  - сенсорная микроэлектроника
KW  - сенсоры давления
KW  - кремний
KW  - кристаллы
KW  - микромеханика
KW  - нанотехнологии
KW  - микроэлектронные сенсоры давления
KW  - научные исследования
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 60 назв; Получено из издательства
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000328939
ER  -