Микроэлектронные сенсоры давления / Н. П. Криворотов, Т. И. Изаак, Л. М. Ромась [и др.] // Вестник Томского государственного университета. 2005. № 285 : Серия "Физика". С. 139-147. URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000328939