TY  - SER
AU  - Никитина,Лариса Николаевна
AU  - Эрвье,Юрий Юрьевич
AU  - Suemitsu,Maki
AU  - Филимонов,Сергей Николаевич
AU  - Sambonsuge,Shota
ED  - Томский государственный университет
TI  - Карбид кремния на кремнии (110): структура поверхности и механизмы эпитаксиального роста
KW  - карбид кремния
KW  - кремний
KW  - гетероэпитаксия
KW  - полупроводники
KW  - поверхностная энергия
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 20 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000470578
ER  -